硅片研磨廢水處理方法有哪些？

問(wèn)答庫(kù) 2023年02月15日 13:12 1989 問(wèn)答庫(kù)

　　硅片研磨廢水處理方法有哪些？

　　制造半導(dǎo)體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片，晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長(zhǎng)、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序;研磨過(guò)程之后需采用大量的超純水來(lái)洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。那么硅片研磨廢水處理方法有哪些？下面就讓三達(dá)膜小編為大家詳細(xì)介紹一下。

　　硅片研磨廢水處理方法有哪些？

　　傳統(tǒng)處理方式有諸多局限，占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定。廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境，處理水不加以回收將會(huì)造成水資源浪費(fèi)。

　　晶圓硅片研磨或切割液廢水回用的處理方法屬于半導(dǎo)體制造和工業(yè)廢水處理技術(shù)。目前，膜分離技術(shù)廣泛運(yùn)用于廢水回用領(lǐng)域?；谀さ姆蛛x性能，一般微濾和超濾作為預(yù)處理使用，反滲透和納濾對(duì)經(jīng)過(guò)預(yù)處理后的水進(jìn)行更加深入的處理。

　　膜的聯(lián)用技術(shù)在廢水回用中有出眾的處理效果，可以實(shí)現(xiàn)高效，高回收率，高品質(zhì)出水的“三高”需要。膜分離技術(shù)作為新的分離凈化和濃縮方法，具有無(wú)相變、能耗低、效率高、工藝簡(jiǎn)單、操作方便和占地投資小等優(yōu)點(diǎn)，不僅可以使廢水達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，而且可以回收部分原材料、提高水的利用率。

　　以上就是三達(dá)膜小編給大家介紹的具體內(nèi)容了，希望能夠幫助到大家對(duì)上述問(wèn)題有更深的認(rèn)識(shí)。上述內(nèi)容僅供大家參考，還是要以實(shí)際出現(xiàn)的問(wèn)題對(duì)癥下藥才能更好的解決問(wèn)題。如果大家想了解更多案例或技術(shù)方面內(nèi)容，可登陸三達(dá)膜官網(wǎng)，還可以與我們的在線客服進(jìn)行交流或關(guān)注三達(dá)膜公眾號(hào)。

標(biāo)簽：污水處理