隨著全球?qū)Νh(huán)保和資源節(jié)約的重視,半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的半導(dǎo)體含氟廢水處理與回用成為了一個亟待解決的問題。那么半導(dǎo)體含氟廢水的性質(zhì)有哪些?下面就讓...
2024-07-15 583 污水處理
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含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴(kuò)散工序及化學(xué)機(jī)械研磨工序,在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強(qiáng)的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機(jī)廢水,由于生產(chǎn)工藝的不同,有機(jī)溶劑的使用量對于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑,有機(jī)溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機(jī)廢水排放。有機(jī)廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機(jī)廢水。
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