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電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?

問答庫 2023年06月13日 13:51 1883 問答庫

電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?

  電子半導(dǎo)體廢水的來源有哪些?


  含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴(kuò)散工序及化學(xué)機(jī)械研磨工序,在對硅片及相關(guān)器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強(qiáng)的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機(jī)廢水,由于生產(chǎn)工藝的不同,有機(jī)溶劑的使用量對于半導(dǎo)體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑,有機(jī)溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機(jī)廢水排放。有機(jī)廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機(jī)廢水。


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