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碳化硅晶片廢水主要有哪些?

問答庫 2023年12月06日 08:58 1059 問答庫

  

碳化硅晶片廢水主要有哪些?



  碳化硅晶片在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢水,這些廢水如果不經(jīng)過處理就排放的話,會對周邊環(huán)境造成嚴(yán)重的危害。那么碳化硅晶片廢水主要有哪些?下面就讓三達(dá)膜小編為大家詳細(xì)介紹有哪些?


  碳化硅晶片廢水主要有哪些?


 ?。?)切磨廢水。開方硅錠經(jīng)少子壽命測試后,截斷無效部分,對斷面磨光打平,產(chǎn)生研磨廢水,廢水主要成分為硅粉。


  (2)預(yù)清洗廢水。硅錠切片后,用水槍將硅片表面切削砂漿(由切削液和金剛砂配制,主要成分為聚乙二醇和碳化硅)和硅粉噴洗干凈,產(chǎn)生預(yù)清洗廢水。預(yù)清洗廢水水量大、有機(jī)物濃度高,是硅片生產(chǎn)廢水中最難處理的一股廢水。


 ?。?)硅片清洗廢水。檢查合格的硅片采用檸檬酸等浸泡進(jìn)一步去除表面金屬等雜質(zhì),該股廢水有機(jī)物濃度高,但水量較小。


 ?。?)超聲波清洗廢水。酸洗后硅片采用超聲波技術(shù)用大量超純水清洗,該股廢水水量大,污染較小。廠區(qū)目前生產(chǎn)廢水約960m3/d,已接近滿負(fù)荷生產(chǎn)


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標(biāo)簽: 污水處理

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